ご存じのように分子はその構造により性質、性能が異なります。半導体フォトレジストの中でArFフォトレジスト用ポリマーは種々の構造を持つアクリルポリマーが報告されています。
半導体用フォトレジスト用ポリマーの場合、半導体フォトレジストにしてみて特性の確認をしてみないとその良し悪しは分かりません。
日本有数のファインケミカル企業の研究所長経験のコンサルタントが半導体フォトレジストの性能評価から他社の特許を避け、フォトレジストの性能をあげる分子設計をコンサルティングいたします。